大家好，极紫外掩模缺陷，关于极紫外掩模缺陷的简介很多人还不知道，现在让我们一起来看看吧！
1、 极紫外掩模缺陷是指在极紫外光刻技术中使用的掩模版上存在的缺陷总称。
2、比如衬底缺陷、基板缺陷等 。
本文关于极紫外掩模缺陷的简介就讲解完毕，希望对大家有所帮助。
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